MEMS - definizione. Che cos'è MEMS
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Cosa (chi) è MEMS - definizione


MEMS         
I sistemi microelettromeccanici, spesso detti MEMS (acronimo di micro electro-mechanical systems), sono un insieme di dispositivi microscopici di varia natura (meccanici, elettrici o elettronici) integrati su uno stesso substrato di materiale semiconduttore, ad esempio silicio, che coniugano le proprietà elettriche degli integrati a semiconduttore con proprietà opto-meccaniche.
Bio-MEMS         
Bio-MEMS, acronimo per sistemi microeletromeccanici biomedici/biologici sono dei dispositivi che si sovrappongono per funzioni ai lab-on-a-chip (LOC), e spesso il termine è usato come sinonimo di quest'ultimo e con sistemi di analisi μTAS.